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什么是数值孔径?

时间:2026-02-01 23:07:00 浏览:869次

什么是数值孔径?

是光刻激光可刻蚀出来的图形最小距离. 小于这个距离,就不能清晰的得到你想要的图像. 其与光源波长及综合因子k1(基本是常数)正比,与镜头数值孔径的平方成反比.

标签:数值孔径

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